芯源微688037：光刻機龍頭股。

作為與光刻機配合進(jìn)行作業(yè)的關(guān)鍵處理設備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機成功打破國外廠(chǎng)商壟斷并填補國內空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節，作為國內廠(chǎng)商主流機型已成功實(shí)現進(jìn)口替代；通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)、實(shí)踐應用積累以及持續承擔國家02重大專(zhuān)項，公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節的涂膠顯影設備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長(cháng)江存儲、上海華力等前道芯片制造廠(chǎng)商進(jìn)行工藝驗證。