單晶硅太陽(yáng)電池
單晶硅太陽(yáng)電池是當前開(kāi)發(fā)得最快的一種太陽(yáng)電池,它的構成和生產(chǎn)工藝已定型,產(chǎn)品已廣泛用于宇宙空間和地面設施。這種太陽(yáng)電池以高純的單晶硅棒為原料,純度要求99.9999%。為了降低生產(chǎn)成本,現在地面應用的太陽(yáng)電池等采用太陽(yáng)能級的單晶硅棒,材料性能指標有所放寬。有的也可使用半導體器件加工的頭尾料和廢次單晶硅材料,經(jīng)過(guò)復拉制成太陽(yáng)電池專(zhuān)用的單晶硅棒。將單晶硅棒切成片,一般片厚約0.3毫米。硅片經(jīng)過(guò)成形、拋磨、清洗等工序,制成待加工的原料硅片。
加工太陽(yáng)電池片,首先要在硅片上摻雜和擴散,一般摻雜物為微量的硼、磷、銻等。擴散是在石英管制成的高溫擴散爐中進(jìn)行。這樣就在硅片上形成P/N結。然后采用絲網(wǎng)印刷法,將配好的銀漿印在硅片上做成柵線(xiàn),經(jīng)過(guò)燒結,同時(shí)制成背電極,并在有柵線(xiàn)的面涂覆減反射源,以防大量的光子被光滑的硅片表面反射掉,至此,單晶硅太陽(yáng)電池的單體片就制成了。
單體片經(jīng)過(guò)抽查檢驗,即可按所需要的規格組裝成太陽(yáng)電池組件(太陽(yáng)電池板),用串聯(lián)和并聯(lián)的方法構成一定的輸出電壓和電流,最后用框架和封裝材料進(jìn)行封裝。用戶(hù)根據系統設計,可將太陽(yáng)電池組件組成各種大小不同的太陽(yáng)電池方陣,亦稱(chēng)太陽(yáng)電池陣列。目前市場(chǎng)上的單晶硅太陽(yáng)電池的光電轉換平均效率為19%左右,個(gè)別公司最近推出的新產(chǎn)品普遍都超出這個(gè)值。實(shí)驗室成果普遍在20%以上。用于宇宙空間站的還有高達50%以上的太陽(yáng)能電池板。
多晶硅太陽(yáng)電池
單晶硅太陽(yáng)電池的生產(chǎn)需要消耗大量的高純硅材料,而制造這些材料工藝復雜,電耗很大,在太陽(yáng)電池生產(chǎn)總成本中己超二分之一,加之拉制的單晶硅棒呈圓柱狀,切片制作太陽(yáng)電池也是圓片,組成太陽(yáng)能組件平面利用率低。因此,80年代以來(lái),歐美一些國家投入了多晶硅太陽(yáng)電池的研制。 目前太陽(yáng)電池使用的多晶硅材料,多半是含有大量單晶顆粒的集合體,或用廢次單晶硅料和冶金級硅材料熔化澆鑄而成。其工藝過(guò)程是選擇電阻率為100~300歐姆厘米的多晶塊料或單晶硅頭尾料,經(jīng)破碎,用1:5的氫氟酸和硝酸混合液進(jìn)行適當的腐蝕,然后用去離子水沖洗呈中性,并烘干。用石英坩堝裝好多晶硅料,加人適量硼硅,放人澆鑄爐,在真空狀態(tài)中加熱熔化。熔化后應保溫約20分鐘,然后注入石墨鑄模中,待慢慢凝固冷卻后,即得多晶硅錠。這種硅錠可鑄成立方體,以便切片加工成方形太陽(yáng)電池片,可提高材質(zhì)利用率和方便組裝。
多晶硅太陽(yáng)電池的制作工藝與單晶硅太陽(yáng)電池差不多,其光電轉換效率約12%左右,稍低于單晶硅太陽(yáng)電池,但是材料制造簡(jiǎn)便,節約電耗,總的生產(chǎn)成本較低,因此得到大量發(fā)展。隨著(zhù)技術(shù)得提高,目前多晶硅的轉換效率也可以達到18%左右。
非晶硅太陽(yáng)電池
非晶硅太陽(yáng)電池是1976年有出現的新型薄膜式太陽(yáng)電池,它與單晶硅和多晶硅太陽(yáng)電池的制作方法完全不同,硅材料消耗很少,電耗更低,非常吸引人。制造非晶硅太陽(yáng)電池的方法有多種,最常見(jiàn)的是輝光放電法,還有反應濺射法、化學(xué)氣相沉積法、電子束蒸發(fā)法和熱分解硅烷法等。輝光放電法是將一石英容器抽成真空,充入氫氣或氬氣稀釋的硅烷,用射頻電源加熱,使硅烷電離,形成等離子體。非晶硅膜就沉積在被加熱的襯底上。若硅烷中摻人適量的氫化磷或氫化硼,即可得到N型或P型的非晶硅膜。襯底材料一般用玻璃或不銹鋼板。這種制備非晶硅薄膜的工藝,主要取決于嚴格控制氣壓、流速和射頻功率,對襯底的溫度也很重要。
非晶硅太陽(yáng)電池的結構有各種不同,其中有一種較好的結構叫PiN電池,它是在襯底上先沉積一層摻磷的N型非晶硅,再沉積一層未摻雜的i層,然后再沉積一層摻硼的P型非晶硅,最后用電子束蒸發(fā)一層減反射膜,并蒸鍍銀電極。此種制作工藝,可以采用一連串沉積室,在生產(chǎn)中構成連續程序,以實(shí)現大批量生產(chǎn)。同時(shí),非晶硅太陽(yáng)電池很薄,可以制成疊層式,或采用集成電路的方法制造,在一個(gè)平面上,用適當的掩模工藝,一次制作多個(gè)串聯(lián)電池,以獲得較高的電壓。因為普通晶體硅太陽(yáng)電池單個(gè)只有0.5伏左右的電壓,現在日本生產(chǎn)的非晶硅串聯(lián)太陽(yáng)電池可達2.4伏。