T2*S=常數 厚度的平方乘以轉送等于常數. 這是經(jīng)驗公式,適于用標準制程,即基本主轉速之前沒(méi)有高轉速干擾. 如果有,需要修正因子,相對復雜,需要實(shí)驗數據說(shuō)話(huà). 建議,先根據公式做幾個(gè)實(shí)驗,驗證一下,來(lái)調整你的厚度和標準差. 另外,要強調的是,調厚度不僅僅看轉速,要看到pump的時(shí)間,噴光阻的時(shí)間,噴光租的轉速,切斷轉速等等,很多因素;說(shuō)起來(lái)簡(jiǎn)單,其實(shí)是個(gè)技術(shù)活!