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光刻機和蝕刻機有什么區別?

admin 79 0

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光刻機和蝕刻機有什么區別?

這樣的答題必須要有專(zhuān)業(yè)的人才懂,高端芯片制作工藝光刻和蝕刻機這不是誰(shuí)都懂的,你也許是專(zhuān)業(yè)行家,本人是搞染料化工的,相差十萬(wàn)八千里,那就等于是我問(wèn)你核潛艇的主要結構,你能回答嗎?邀人答題那也要看看邀請對像才行。還連續邀請,這不是強人所難嗎?再見(jiàn)!

最近中興事件作為導火索,引發(fā)了國人關(guān)于芯片討論,其中不免涉及到了芯片制造業(yè)兩大至關(guān)重要的技術(shù),蝕刻機和光刻機,作為一個(gè)業(yè)余愛(ài)好者,我為大家分享一下我知道的東西。

什么是光刻機

光刻機作為制造芯片的核心裝備之一,因為用途的不同,分為生產(chǎn)芯片的光刻機,用于封裝的光刻機,還有LED領(lǐng)域的投影光刻機,目前主要討論的是用于生產(chǎn)芯片的光刻機,這也是芯片領(lǐng)域,我國最薄弱的環(huán)節。

先了解一下光刻中必須要用的東西——光刻膠,簡(jiǎn)單的來(lái)說(shuō)這種膠狀物,只能被光腐蝕,而不能被化學(xué)物質(zhì)腐蝕,制造芯片時(shí)講光刻膠涂在金屬表面,然后用光把不需要的地方腐蝕掉,制作出自己需要的圖形(電路結構之類(lèi)的),接下來(lái)就該蝕刻機上場(chǎng)了。

什么是蝕刻機

蝕刻分為兩類(lèi),一類(lèi)是干刻,一類(lèi)是濕刻(目前主流),濕刻就是特定的化學(xué)溶液與上個(gè)部分光刻機制作后的薄膜發(fā)生反應,發(fā)生反應過(guò)后剩下的東西,就是需要的東西了,這個(gè)過(guò)程有液體接觸,所以叫濕刻。

干刻更加高級,目前并沒(méi)有大規模應用,它是通過(guò)等離子電漿去除未覆蓋的薄膜。

光刻機 ASML一枝獨秀

以前光刻機領(lǐng)域還有佳能尼康制衡ASML,不過(guò)隨著(zhù)技術(shù)差距越來(lái)越多,目前高端光刻機市場(chǎng)被ASML壟斷,7nm級別光刻機17年的產(chǎn)量只有12臺,一臺1.2億美元,還要提前21個(gè)月預訂,中國就算排隊,也不知道哪年買(mǎi)得到,背地里還有有些國家作怪,目前國產(chǎn)光刻機還處于90nm階段,任重道遠。

五大蝕刻機廠(chǎng)商 中微是其一

目前能生產(chǎn)7nm級別蝕刻機的有應用材料,科林研發(fā),東京威力科創(chuàng ),日立先端,中微半導體五家公司,中微是唯一一家中國企業(yè),并且已經(jīng)開(kāi)始向臺積電供貨,中微也代表著(zhù)中國頂尖的半導體技術(shù)。

中國半導體起步晚,需要走的路還很長(cháng),不過(guò)中國人最不缺的就是毅力,只有堅持不懈方能厚積薄發(fā)。

其實(shí)從字面表面意思就能看出來(lái),無(wú)論是這兩個(gè)其中的哪種機器,用在芯片制造上都有很大的幫助,也是芯片制造的主要方式。隨著(zhù)時(shí)間的推進(jìn),現在的光刻技術(shù)出現兩種趨勢,一個(gè)是光刻機,一種是蝕刻機。

那么這兩種有什么區別呢?

光刻機是芯片制造行業(yè)的主要載體。他的工作原理是在硅片上涂上一層均勻的光刻膠,然后利用紫外線(xiàn)照在上面,其中還包含了編碼,把需要刻制的東西編碼完成,用光刻技術(shù)刻到上面。從而達到保存的效果。光刻機上面是光照部,中間是掩膜版,最后是需要刻制的載體。

光刻機發(fā)展至今,目前已經(jīng)有了很多種形式,但工作原理大同小異,沒(méi)什么區別。而且國內現在已經(jīng)有了自主產(chǎn)權,發(fā)展前景很不錯。

光刻機和蝕刻機有什么區別?-第1張圖片-贊晨新材料

蝕刻機與光刻機比起來(lái)就有些粗糙了,他是直接把內容刻在載體上,對載體表面進(jìn)行侵蝕從而達到刻錄的目的。目前國內的蝕刻機有兩種,干刻和濕刻,但是工作原理都相同,利用離子與電壓的結合,達到刻錄的目的。

總的來(lái)說(shuō),兩種刻制方式都是主流的形式,如果選擇的話(huà)完全是根據自己的需求。只能說(shuō)兩種都不會(huì )讓人失望。

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